近日，华海清科官微公布，华海清科全资子公司芯嵛半导体（上海）有限公司自立研发的12英寸年夜束流浪子注入机批量交付海内多家集成电路制造头部企业。
据先容，华海清科离子注入设备体现卓着，其最新一代年夜束流浪子注入机于置换率等方面已经与国际领先竞争敌手到达统一程度，具有高不变性与高工艺匹配度，可以或许满意进步前辈制程对于离子注入匀称性、精准度的严苛要求。今朝，该系列设备已经于多家客户端顺遂经由过程验证，依附精彩的综合机能博得了客户的高度必定，反复定单的获取恰是其产物实力与市场决定信念的有力证实。
华海清科形成为了笼罩逻辑芯片、存储芯片、功率半导体、CIS（图象传感器）和硅片制造等多范畴工艺需求的周全产物矩阵。这次批量交付海内多家集成电路制造头部企业，是华海清科离子注入设备成长的主要里程碑。
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